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电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择


3    结论

   综上所述,笔者认为,对水质有较高要求的电子洁净厂房的工艺冷却水,管道应Sch-10S级不锈钢管及Sch80-PVC管。

   类似6英寸半导体前工序及TFT-LCD厂房的水质,可使用Clean-PVC与洁净PP管道,但洁净PP在连接方式及施工质量上有明显的优势,故而,洁净PP管可以代替Clean-PVC在纯水系统管道中得到更广泛的应用。

   类似8英寸及12英寸半导体厂房的水质,药厂gmp净化车间工程设计,需采用PVDF管道作为。由6英寸升级到8英寸半导体水质的管道系统,可采用已运行多年的Clean-PVC管路系统而不必更换成PVDF管路系统。















电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择

管道应力公式:

式中:P为管道允许的工作压力(MPa);

           d为管道外径(mm);

           e为管道壁厚(mm);

           C为设计系数;

           σ为管道应力(MPa)。

   以PN16 PVC-U管道为例,管径110 mm×8.1 mm,管道应力15.5 MPa,设计系数2.5,德州药厂gmp净化车间工程,液体温度40℃。

   由此可见虽然管道的压力等级为PN16,但该管道的允许工作压力为9.86 MPa。

   因此,通常选择Sch80-PVC管应用于工艺冷却水系统。Sch-80为ASME(美国机械工程师协会)的壁厚标准,药厂gmp净化车间工程公司,Sch就是“schedule”,管道的壁厚等级。Sch是设计压力与设计温度下材料的许用应力的比值乘以1000,并经圆整的数值。即:






以某电子厂为例,一期厂房纯水系统未设置专门的除TOC紫外线灯,仅依靠制备过程中对TOC的去除,在运行了若干年后,其回水管道TOC可以达到15ppm,而二期新建的纯水系统,设置了专用的除TOC紫外线灯,在系统开始运行阶段的站房出口TOC,也只有50 ppm。正是由于这种特性,所以纯水系统在投产前需经过相当长时间的冲洗运行。







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